1、单位概况 西安电子科技大学是一所以信息和电子学科为主,工、理、管、文多学科协调发展的全国重点大学,直属教育部,是国家列入“211工程”重点建设的高校之一和全国53所设有研究生院的高校之一。该项目组的主要成员均具有丰富的研究经验,本项目研究所需的软硬件条件已经基本具备。 2、项目概况 近年来市场对光电器件(蓝光二极管以及半导体白光灯)、微波器件(GaAs和InP)和微波功率器件(GaN和SiC)的需求不断增长,而MOCVD系统是制备以上器件所需材料的核心生长设备,因此企业和研究机构对生产型和研究型MOCVD系统的需求也越来越多。但是目前全球的MOCVD系统市场主要垄断国外少数几家公司手中,而这几家大公司的MOCVD系统价格非常昂贵(均在100万美元以上)。我们已经研制出高性能、低成本的MOCVD系统(如下图所示)。为了进一步提高设备的重复性和可靠性,仍需200万左右的投资。 3、市场分析 到目前为止,国内拥有的进口MOCVD系统47台。而随着GaN蓝光二极管和白光二极管的持续走热,以及GaN基材料与器件研究的进一步深入,MOCVD系统受到特别的关注。 按照目前的趋势,仅GaN蓝光发光二极管和半导体白光灯产业对MOCVD系统的要求都相当大,预计我国的MOCVD在2005年年需求量接近100台。 4、联系方式 地 址:西安市太白南路2号 邮编:710071 电 话:029-88202073 传真:(029)88201641 联 系 人:冯 倩 E-mail:qfeng@mail.xidian.edu.cn
(省外事交流中心 2004.12.10)
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